반도체 자동화 소프트웨어 | 인포그램

Our Solution

인포그램과 어떤 일을 함께 할 수 있을까요?

장비 데이터 수집

반도체와 LCD등의 Flat Panel Display 장비에서는 많은 데이터들이 발생합니다. 이벤트(Event)와 상태정보(Status Variable), 알람(Alarm) 정보들은 각각의 Lot Tracking 정보로 연관되어 수집이 되어야 의미 있는 데이터로 사용될 수 있습니다.

Overlay Control

Photo 공정은 반도체 미세화와 수율 향상에 가장 핵심이 되는 공정입니다. Scanning 결과의 측정데이터 중 Overlay Parameter 분석을 통해 다음 Wafer 생산을 위한 최적의 Control Parameter를 계산하고 그 Parameter를 Photo Scanner 장비에 제공하는 R2R 시스템을 위한 모든 솔루션이 인포그램을 통해 만들어집니다.

장비 효율

MES를 통한 관리로 한계를 경험한 장비의 생산성, 가용성, 신뢰성은 인포그램의 솔루션을 통해 더 높은 수준의 향상을 얻을 수 있습니다. Wafer 단위로 이루어지는 Tracking 정보와 측정 정보, Tool to Tool Matching을 통한 Key factor 발견, 초당 10건 이상의 Health 데이터 처리가 필요한 패턴 분석 등을 할 수 있기 때문입니다.

Product

인포그램의 제품을 소개합니다.

Datagram™

반도체와 LCD를 비롯한 Flat Panel Display 제조설비에서 발생하는 모든 데이터가 자동화 시스템과 연결되는 것은 아닙니다. 데이터 량이 많아서 또는 표준화의 문제이든 자동화 설정의 문제이든, 볼 수 있는 데이터를 자동화 시스템에서 보지 못하고 있는 현실이 있습니다. Datagram은 다양한 형식의 파일 데이터를 온라인으로 자동화 시스템에 연계함으로써 그 동안 버려질 수 밖에 없었던 핵심 데이터를 저렴한 비용으로 기존 자동화 시스템에서 이용할 수 있는 중요한 데이터로 활용할 수 있도록 해 줍니다.

Lithogram™

인포그램은 반도체, LCD등의 Flat Panel Display 제조에 사용되는 Photo 공정의 수율 향상을 위한 획기적인 솔루션을 제공합니다. Photo 공정에서 Scanning한 결과를 측정한 Overlay Parameter로 다음Wafer 생산을 위한 최적의 Control Parameter를 계산하고 그 Parameter 값을 다시 Photo 장비에 제공하여 모든Wafer에 대해 최적의 공정 결과를 만들어 낼 수 있는 R2R 시스템인 Lithogram™입니다.

Pitogram™

반도체와 FPD의 Lithography 공정은 Photo Coating 작업을 위해 많은 양의 PR (Photo Resist Liquid)을 사용하고 있습니다. 미세공정과 3D 다층공정등의 최신 제품생산 작업을 위해 앞으로도 다양한 종류의 PR을 사용하고 그 PR을 관리하는 업무는 더욱 더 중요해지고 있습니다. 1개의 반도체/FPD 공장에서 사용하는 PR의 종류는 50여가지가 넘으며 이 PR들은 상온사용, 냉동/냉장보관, 동일Batch 사용 등의 다양한 조건으로 관리되어야 합니다. 이러한 관리의 Human-miss 와 PR 교체 오류로 인해 제품 수율하락, 비용 및 시간 Loss 등의 피해 사례가 발생합니다.